Abbildende Ellipsometrie mit Lichtwegumkehrung für die optische Charakterisierung von gekrümmten Oberflächen

Negara, Christian Emanuel

In: Schriftenreihe Automatische Sichtprüfung und Bildverarbeitung; (2023)

Online E-Book - 324

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Ellipsometry is a measuring method for surface characterization and thin-film measurement of flat surfaces using polarized light. However, a new measuring principle based on return-path ellipsometry and retroreflection enables the detection of free-form surfaces. This new measurement principle and related questions regarding the measurement function, evaluation algorithms and ambiguities as well as degrees of freedom of the solution set are examined in this work.

Titel:	Abbildende Ellipsometrie mit Lichtwegumkehrung für die optische Charakterisierung von gekrümmten Oberflächen
Autor/in / Beteiligte Person:	Negara, Christian Emanuel
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Quelle:	Schriftenreihe Automatische Sichtprüfung und Bildverarbeitung; (2023)
Veröffentlichung:	KIT Scientific Publishing, 2023
Medientyp:	E-Book
Umfang:	324
ISBN:	978-3-7315-1302-5 (print)
DOI:	10.5445/KSP/1000158762
Schlagwort:	imaging retroreflection curved surface ellipsometry bildgebend Retroreflexion gekrümmte Oberfläche Ellipsometrie metrology Messtechnik thema EDItEUR:U Computing and Information Technology:UY Computer science:UYA Mathematical theory of computation:UYAM Maths for computer scientists
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Directory of Open Access Books Sprachen: German Document Type: eBook File Description: image/jpeg Language: German Rights: open access ; Attribution 4.0 International ; URL: https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/

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