Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Kopf, Marlene

In: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie; (2022)

Online E-Book - 220

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Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of gyroscopes are investigated and countermeasures are presented. A focus is placed on desorption sources as well as gas diffusion paths in the sensor layer stack.

Titel:	Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
Autor/in / Beteiligte Person:	Kopf, Marlene
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Quelle:	Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie; (2022)
Veröffentlichung:	Karlsruhe: KIT Scientific Publishing, 2022
Medientyp:	E-Book
Umfang:	220
ISBN:	978-3-7315-1121-2 (print) ; 3-7315-1121-5 (print)
ISSN:	1869-5183 (print)
DOI:	10.5445/KSP/1000136062
Schlagwort:	MEMS-Sensor Drehratensensor Inertialsensor Dämpfung Q-Faktor MEMS sensor gyroscope inertial sensor damping atmosphere Q factor bic Book Industry Communication::T Technology, engineering, agriculture::TG Mechanical engineering & materials
Sonstiges:	Nachgewiesen in: OAPEN Library Sprachen: German Collection: Books ; Imported or submitted locally Original Material: 44e29711-8d53-496b-85cc-3d10c9469be9 ; 42 Document Type: book File Description: application/pdf Language: German Rights: URL: http://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0 Notes: ONIX_20220404_9783731511212_6

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